解决方案
智能制造生产线建设,为客户提供软硬件一体化解决方案
我公司激光产品具有一下几种方案可供参选:
1 激光开槽设备-采用皮秒光源和SLM多焦点技术,实现减少热影响区,底部更平整,更高效率(速度是传统单焦点的1.5倍以上)和更高精度的开槽。(适用于Low-k 晶圆, LCD driver晶圆, 碳化硅, 氮化镓等产品)
2 激光隐形切割设备-采用红外光源,SLM多焦点技术和RTF的实时焦点跟随技术,实现更高效率(速度是传统单焦点的1.5倍以上)和更高精度的切割产品。(使用不同光源可以实现切割硅,碳化硅,光学玻璃等材料。)
3 激光无缝切割设备-采用达仕专利的光源设计,可以取代传统刀片切割,实现无耗材无水非接触式的切割,几乎为零的切割宽度,实现更高效率(不同厚度wafer,速度约是传统刀切的5倍以上)和更高精度的切割产品。