激光开槽设备-采用皮秒光源和SLM多焦点技术，实现减少热影响区，底部更平整，更高效率(速度是传统单焦点的1.5倍以上)和更高精度的开槽。（适用于Low-k 晶圆， LCD driver晶圆, 碳化硅, 氮化镓等产品）
型号 | DRT-LG3001 |
激光器 | 532nm绿光 |
激光功率 | ≥60W |
冷却方式 | 封闭式循环水冷 |
X轴 | 行程450mm，解析度0.1um |
Y轴 | 行程500mm，解析度0.1um |
Z轴 | 行程15mm，解析度1um |
θ轴 | 行程120°，解析度0.0001° |
划片速度 | ≤1000mm/s |
划片尺寸 | 8英寸、12英寸 |
空间光调制器 | 可任意切换槽宽 |
公司电话：0572-2266969
销售热线：0572-2266969-168
电子邮：sales@darcetzj.com.cn
地址：浙江省湖州市吴兴区八里店镇高新区湖州中小微企业智能制造产业园北区9幢
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