在激光切割领域,公司与新加坡国家实验室保持了超过十年的开发合作,达仕激光切割产品适用于硅/碳化硅/蓝宝石/玻璃等不同材料,产品同时拥有隐切、开槽、无缝隙切割等工艺技术和设备制造能力,涵盖红外、绿光等多光源,自有SLM多焦点空间光技术,切割刀损耗可达到小于3μm,可将每片晶圆的芯片产出提升最大到25%,解决切割可靠性及UPH的瓶颈,其核心技术特点包括:①红外皮秒、绿光皮秒等多种光源结合SLM多焦点;②独立开发光场调控技术、独家物理光束整形;③自有核心工艺数据库;④采用热裂解而非传统机械裂变,损耗很低,精度达到1微米。
目前公司已与包括苏州纳米所、颀中、大圭等客户落地合作。通过对目前的开槽、隐切两种通用工艺进行了技术升级,除了UPH的提升外,解决了内裂、热烧熔、熔残渣等传统激光工艺问题。切割效果对标日本Disco。在诸如LED显示芯片类型切割应用中,客户通过与国内外企业产品测试比较,达仕产品超越同行的切割后芯片强度指标30%,性能表现优异。